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六甲基二硅氮烷

中文名稱六甲基二硅氮烷

英文名稱 1,1,1,3,3,3-Hexamethyldisilazane

中文別名六甲基二硅亞胺;1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷;六甲基二硅胺烷;HMDS

CAS RN 999-97-3

EINECS號 213-668-5

分子式 C6H19NSi2

分子量 161.39

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